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【影響硬度準確度的因素】
1、試驗力：與試驗力大于lON 所得到的宏觀硬度值比較，顯微硬度測定值受試驗力大小的影響更大。只有在試驗力及保持時間相同的情況下，才能獲得可比硬度值。材料各向異性的因素對硬度值也有影響，所以應當指明試樣的測定部位。要獲得覆蓋層較準確的硬度俏，當采用與覆蓋醫厚度相適應的較大試驗力。
2、壓頭的速度
如果壓頭同待測的表面接觸的速度太太，則獲得的硬度值偏低，壓頭與試驗表面接觸的速度應當降低到不致出現偏高硬度值的程度。壓頭的速度在15～70um/s為宜。要確定所用速度是否正確，應當逐步減低速度作反復試驗，亙至速度低于某一數值，所得硬度值再無較大的變化時的速度，便是在所的試驗力作用下峭的壓頭速度。進行上述試驗應輯用與實贈度測定時相同的材料和試驗力
3、試驗力的保持時間
在正常情況下，試驗力應保持10～155，如果保持時間與此不同，則應按照8.2條的規定，在試驗報告上說明實際的保持時間。如果試驗力的保持時間小于10，則壓痕的大小可能與保持時間有關，硬度值口能偏高。對于室溫下發宅蜻變的一些材料，試驗力保持時間影響更大。
4、振動
不管用什么樣的試驗力，振動都是一種嚴重的誤差源，而且試驗力較小時，此種影響更明顯。如有振動布在， 般獲得的硬度值偏低。使用與試驗表面硬度相近的標準試樣進行對比測定，可以檢定出這種誤差源(見5.3)。為了減小振動的影響，可把試樣裝在剛性支撐臺上。
5、粗糙度：如果試樣的表面是粗糙的，則不可能準確地測量壓痕對角線的長度，因此一般都在試樣的橫斷面上測定顯微硬度。試樣須進行化學、電解或機械拋光。在機械拋光時應盡量減少局部發熱或加工硬化，否則會使原有硬度值發生改變。由于噴涂金屬層的表面粗糙，所以這樣的涂層一般庇均在橫斷面上進行顯微硬度測定。如果表面經過研磨和拋光，也可以在表面上測定。